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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:BPG552 ATM至超高真空雙真空計

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:INFICON
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon? 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了**的精度、可重復性和使用壽命。
詳情介紹:

對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon? 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了超卓的精度、可重復性和使用壽命。


優(yōu)勢
1,雙測量儀(2 個傳感元件),測量范圍寬,降低成本,節(jié)省空間
2,用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3,皮拉尼互鎖保護,避免燈絲過早燒毀
4,自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié),減少操作員干預
5,電隔離電子元件,避免雜散電流
6,滑動排放模式,避免切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結現(xiàn)象
7,可移動的校準數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時間
8,設定點繼電器
9,明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面
10,模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11,可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12,向后兼容 BPG402

13,符合 RoHS 規(guī)范


典型應用
半導體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制 超高真空范圍


測量范圍(空氣、O2、CO、N2) 5 × 10-10 … 1000 mbar

準確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數(shù)的 ±15
             1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數(shù)的 ±30
重復性 讀數(shù)的 5%,10-8 ... 10-2 毫巴(穩(wěn)定 10 分鐘后)
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

杭公網(wǎng)安備 33010502004916號

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