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邊緣? CDG100D2 - 100°C - 內(nèi)部熱，外部小
INFICON Edge 電容膜片式真空計(jì)是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計(jì)的極其準(zhǔn)確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有無可比擬的零位穩(wěn)定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的獨(dú)特傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受不需要的過程副產(chǎn)品的影響。先進(jìn)的電子元件能為所有應(yīng)用提供范圍廣泛的可配置信號(hào)調(diào)節(jié)，另外還有 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選擇。創(chuàng) 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節(jié)約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中*小的真空測量儀器。
好處
1，緊湊型，節(jié)省寶貴的工具空間
2，易于集成，各種滿刻度、法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
3，輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
4，診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
5，兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長了使用壽命
6，超卓的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是*嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
7，合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
1，CVD、蝕刻、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
